微型高低溫冷卻循環(huán)器常應用于對半導體制造裝置發(fā)熱部的冷卻：單晶片洗凈轉(zhuǎn)載、印刷機、自動夾座安裝裝置、噴涂裝置、離子鍍裝置、蝕刻裝置、單晶片處理裝置、切片機、包裝機、顯影劑的溫度管理、露光裝置、生磁部分的加熱裝置等。
微型高低溫冷卻循環(huán)器特點
風冷式全封閉制冷壓縮機,降溫速度快。
微機智能控制,溫度溫度。
數(shù)顯分辨率0.1℃或0.01℃，具有溫度測量值偏差修正功能。
溫度超溫保護,自動切斷電源并報警。
制冷系統(tǒng)過熱、過流自動保護。
微型高低溫冷卻循環(huán)器使用前的準備
1、次使用時，應拿開上蓋，加入水或不凍液，加離頂蓋上口3CM為止。
2、把所有的冷卻循環(huán)泵，接入到實驗所用的系統(tǒng)中，用保溫軟管接該設備進出液口與實驗儀器的進出液口對應連接好。此循環(huán)為密閉系統(tǒng)循環(huán)。
3、如果只用冷卻循環(huán)泵作業(yè)時，把循環(huán)液出進、連接起來即可。
4、當槽內(nèi)液體為可燃易爆時,嚴禁開啟加熱。
5、控制35度以下時,如控溫要求不高,只要打開制冷開關,關閉加熱開關,把參數(shù)降溫制冷回差dn設定為-0.2度,靠壓縮機起停來控溫。如控溫要求高,打開制冷開關,加熱開關,把參數(shù)降溫制冷回差dn設定為10度,壓縮機不停,靠加熱來控溫。
6、控制35度以上時,只要打開加熱開關,關閉制冷開關。
